菲希爾 X射線測(cè)厚儀 FISCHER XULM240

菲希爾X射線測(cè)厚儀XULM240核心硬件配置

1. X 射線發(fā)射系統(tǒng)

光源：微聚焦鎢靶鈹窗口 X 射線管，50kV/50W，焦點(diǎn)≤50μm

高壓三檔自動(dòng)切換：30kV / 40kV / 50kV，適配薄金、厚錫、多層鎳鉻等不同鍍層

濾片：3 組電動(dòng)自動(dòng)切換（標(biāo)配 Ni/Al/ 無(wú)濾片，可選 Co 濾片），優(yōu)化不同元素激發(fā)效率

2. 準(zhǔn)直器（測(cè)點(diǎn)核心優(yōu)勢(shì)）

4 組電動(dòng)切換準(zhǔn)直器，業(yè)內(nèi)同級(jí)最小測(cè)點(diǎn)：

方形最小：0.05×0.05 mm

圓形最小：?0.1 mm（0.09×0.09mm2）

可選長(zhǎng)條型：0.2×0.03 / 0.3×0.05 mm，適配窄焊盤、細(xì)導(dǎo)線

對(duì)比 XUL210/220 最小測(cè)點(diǎn)僅 0.51mm，XULM240 微區(qū)測(cè)量能力大幅

3. 探測(cè)器與測(cè)量效率

探測(cè)器：比例計(jì)數(shù)管，高計(jì)數(shù)率，微小測(cè)點(diǎn)下測(cè)量速度更快

重復(fù)精度：80nm 超薄金層，20s 測(cè)量重復(fù)性誤差僅 ±2.5nm，變異系數(shù) COV＜5%

4. 樣品定位與觀測(cè)

500 萬(wàn)像素彩色同軸 CCD 顯微鏡，38~184 倍數(shù)字變焦，十字標(biāo)定標(biāo)尺實(shí)時(shí)看測(cè)量光斑

手動(dòng) XY 精密工作臺(tái)，行程 30×40mm，定位精度 ±0.005mm

測(cè)量方向自下而上打光，C 型開槽大艙體，樣品最大高度 174mm，兼容大板 PCB、異形沖壓件

DCM 距離補(bǔ)償：0~25mm 樣品高度無(wú)需反復(fù)校準(zhǔn)，高低落差工件測(cè)量穩(wěn)定